In der Nürnberger Thurn-und-Taxis-Straße befindet sich ein Unternehmen, das auf die Produktion von Halbleiterwafern spezialisiert ist – essenziellen Bauteilen für die Chipherstellung. Am vergangenen Freitag gegen 11:30 Uhr kam es dort zu einem gefährlichen Chemikalienaustritt. Um die Situation zu bewältigen, waren bis zu 100 Einsatzkräfte erforderlich, darunter sechs Rettungswagen, drei Notärzte sowie mehrere Schnell-Einsatzgruppen.
Ein Mitarbeiter musste noch vor Ort reanimiert werden. Insgesamt erlitten 20 Personen leichte Verletzungen, acht weitere wurden mittelschwer verletzt, und zwei Personen waren nach dem Vorfall bewusstlos. Einer der beiden ist inzwischen im Krankenhaus verstorben. Insgesamt mussten 17 Beschäftigte in Kliniken gebracht werden.
Die allgemeine Bevölkerung war zu keinem Zeitpunkt gefährdet, da die giftige Substanz im Gebäude blieb. Allerdings kann die Unglücksursache noch nicht genau bestimmt werden, da das betroffene Gebäude bislang nicht betreten werden darf.
Bei der Herstellung von Siliziumkarbid-Halbleiterwafern kommen zahlreiche Chemikalien zum Einsatz. Diese werden unter anderem bei der Züchtung des Siliziumkristalls, der Schichtabscheidung, dem Polieren und der Reinigung der dünnen Kristallscheiben verwendet. Die gefährlichste Substanz wird beim letzten Schritt, der Reinigung, eingesetzt: Flusssäure (auch Hydrogenfluorid genannt), deren Dämpfe die Atemwege stark reizen. Bei der Schichtabscheidung kommen zudem Silane zum Einsatz, darunter auch Chlorverbindungen sowie möglicherweise das extrem giftige Phosphin.
Siliziumkarbid-Halbleiter bieten gegenüber herkömmlichen Siliziumchips den Vorteil, dass sie bei höheren Temperaturen und Spannungen zuverlässig funktionieren. Aus diesem Grund werden sie trotz ihrer höheren Kosten vermehrt in Elektrofahrzeugen eingesetzt.
Bei dem betroffenen Unternehmen handelt es sich vermutlich um die Firma SyCrystal. Diese ging ursprünglich aus einem Forschungsprojekt der Universität Erlangen-Nürnberg hervor und gehört seit 2009 zu einem japanischen Konzern, der zu den weltweit größten Halbleiterherstellern zählt. In den letzten zwei Jahren wurde der Standort erst deutlich erweitert. In den 25 Jahren seines Bestehens hatte es dort zuvor keinen vergleichbaren Unfall gegeben.
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